等離子清洗機(jī)也叫等離子清潔機(jī),或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
與濕法清洗相比,等離子清洗的優(yōu)勢表面在以下幾個(gè)方面:
(1 )在經(jīng)過等離子清洗之后,被清洗物體已經(jīng)很干燥,不必再經(jīng)干燥處理即可送往下道工序。
(2 )不使用三氯乙甲 ODS 有害溶劑,清洗后也不會(huì)產(chǎn)生有害污染物,屬于有利于環(huán)保的綠色清洗方法。
(3)它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部并完成清洗任務(wù),所不多考慮被清洗物體形狀的影響。
(4 )整個(gè)清洗工藝流程在幾分鐘即可完成,因此具有效率高的特點(diǎn)。
(5 )等離子清洗的大技術(shù)特點(diǎn)是,它不分處理對(duì)象,可處理不同的基材。無論是金屬、半 導(dǎo)體、氧化物還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯 乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚脂、環(huán)氧樹 脂等高聚物)都可用等離子體很好地處理。因此,特別適合不耐熱和不耐溶劑的基底材料。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。
(6 )在完成清洗去污的同時(shí),還能改變材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能,改善膜的附著力等。
(7)自動(dòng)化程度高;具有高精度的控制裝置,時(shí)間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。