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等離子體處理工藝屬于干法工藝,與濕法工藝相比有很多優(yōu)點(diǎn)

更新時(shí)間:2022-06-09點(diǎn)擊次數(shù):792
  近些年微電子行業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)微電子行業(yè)的配件要求也越來(lái)越高。利用等離子體技術(shù)進(jìn)行給這些小配件進(jìn)行工藝制造,使微電子器件的小型化成為可能。在線路板、半導(dǎo)體以及太陽(yáng)能等工業(yè)中,等離子清洗工藝用來(lái)解決這些材料之間的表面粘接電鍍等一系列的問(wèn)題,逐漸成為*的關(guān)鍵技術(shù)。
 
  印刷線路板生產(chǎn)過(guò)程中,尤其是高密度互連板,需要對(duì)孔型進(jìn)行粗化處理,通過(guò)金屬孔實(shí)現(xiàn)層間電氣導(dǎo)通。在鉆孔過(guò)程中,激光孔或機(jī)械孔常有殘留物粘附在孔內(nèi),應(yīng)在下一道工序前除去。平時(shí)俗稱(chēng)“除膠渣”,當(dāng)前,去除膠渣主要有濕法處理工藝,采用化學(xué)藥液進(jìn)行處理,但由于藥液進(jìn)入孔內(nèi)較難,效果有限。用等離子清洗機(jī)進(jìn)行干式清洗,很好的彌補(bǔ)了濕法清洗的缺點(diǎn)。
 

等離子清洗機(jī)

 

  等離子清洗機(jī)的處理過(guò)程主要分為三個(gè)階段。一是將含有自由基、電子、分子等離子體的氣相物質(zhì)吸附在材料表面;二是將吸附基團(tuán)與刻蝕表面的分子反應(yīng)形成分子產(chǎn)物,將生成的分子產(chǎn)物解析為二氧化碳和水氣分子;三是將反應(yīng)殘留物與等離子體反應(yīng)后分離。
 
  等離子體處理工藝屬于干法工藝,與濕法工藝相比有很多優(yōu)點(diǎn),這是由等離子體本身的特性決定的。由高壓電離產(chǎn)生的整體顯電中性等離子體具有很高的活性,能夠連續(xù)地與材料表面的原子發(fā)生反應(yīng),使表面物質(zhì)不斷地被激發(fā)為氣體,揮發(fā)出來(lái),達(dá)到清潔的目的。具有良好的實(shí)用性,是一種清潔、環(huán)保、高效的印刷電路板清洗方法。
 
  大氣壓噴射式等離子清洗機(jī)性能好,性?xún)r(jià)比高,安裝簡(jiǎn)便,可安裝于裝配線及自動(dòng)化設(shè)備上。因此清洗機(jī)一直是多數(shù)企業(yè)優(yōu)先采用的等離子表面處理設(shè)備處理線路板,清洗機(jī)根據(jù)噴頭是否旋轉(zhuǎn)的不同。
 
  線路板除膠渣選用真空等離子清洗機(jī),給線路板表面做等離子刻蝕,效果會(huì)更好!
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